序号

名称

数量（件）

技术参数

1

化学清洗系统一套

1

用于原材料化学清洗电镀等工艺(通风橱、清洗桌、工具柜、常规清洗玻璃器皿等），定制:需要根据现场尺寸量化

2

普通机床

1

用于零件部分的修理工艺，定制:需要根据现场尺寸量化

3

电子天平

1

0.1gm万分之一

4

洗衣机

1

一般洗衣机，定制:需要根据现场尺寸量化

5

地勘仪器加温烘箱

2

定制:需要根据现场尺寸量化

工作尺寸（mm):3400*600*460

外形尺寸（mm)：3620*1340*864

温度范围：+10度-260度可调

温度波动度：±0.5度

温度均匀性：±2.5%

空载升温速率：工作室温升至250度小于90分钟

电源：380V

功率：9.5KW

6

氦质谱捡漏仪

1

1. 最小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s

2.漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s

3. 启动时间：≤5min

4. 响应时间：≤1s

5. 检漏口的最高压力：1500Pa

6. 电源要求：220v，50Hz，单相，10A

7. 工作环境：5-35℃

8. 相对湿度：≤80%

9. 外形尺寸：550（w）×400（D）×780（H）

10. 重量：64kg

7

激光焊机

1

0.8*1.1*1.55

1.PC+运动控制卡

2.焊接头1套

3.光纤传输激光器

4.电动平台3套

5.平台行程：800*300*300

6.运动平台重复定位精度：±0.02mm

7.单工位

8.自动化程度：手动上下料、自动焊接

9.增加选配部件：电动旋转台、专用夹具

10.三维空间轨迹

11.800*1100*1550

12.单相220V 2KW

8

元素刻度罐

4

定制:需要根据现场尺寸量化，纯水罐：圆柱型卧室钢结构

圆柱长度2米，外径1.1米，中心通孔内径为100mm，用于放置测试仪器，内部填充纯净水，底部有支撑结构。

盐水罐：圆柱型卧室玻璃纤维结构

圆柱长度2米，外径1.1米，中心通孔内径为100mm，用于放置测试仪器，内部填充盐水，底部有支撑结构。

油砂罐（25%孔隙度）

圆柱长度2米，外径1.1米，中心通孔内径为100mm，用于放置测试仪器，内部填充25%孔隙度油砂，底部有支撑结构。

水砂罐（25%孔隙度）

圆柱长度2米，外径1.1米，中心通孔内径为100mm，用于放置测试仪器，内部填充25%孔隙度油砂，底部有支撑结构。

9

高真空机组

1

1、电源：220V  50Hz/60Hz

2、移动架：尺寸600 mm×600mm×600mm，最大承重量1000lbs，带有4个滑动轮

3、配有三级泵：机械泵、分子泵（300L）、离子泵，极限真空1.0×10-5Pa

4、持续/最大功率：100W/110W

5、电阻真空计：真空度测量范围1×10-1Pa-1×105Pa

6、法兰：采用316不锈钢材质，出气口为1/8“宝塔气嘴接头，抽气口为KF25接口

7、波纹管：25.4mm×1000mm（旁抽功能）

8、挡板阀：高真空专用不锈钢阀门，三个KF25接口

9、可以配接一路气瓶。

10

双真空排气台（氘氘）

2

深2\宽1.75\高2.3

功能参数

1) 实现无油超高真空；

2) 可对所有管路和工位进行烘烤加热和温控；

4）可充入1路工艺气体；

5）具有停电、停气和分子泵启动互锁保护功能；

6）具有超压、超温报警和保护功能；

7）具有工艺数据自动保存和读取功能；

2.2 技术指标

2.2.1排气台高度尺寸

1）操作台台面高度: ≤1000mm。

2）工位台高度: ≤1200mm。

3）设备总高度（钟罩升起后的总高度）：≤2500mm。

2.2.2钟罩

1）钟罩内部尺寸：内腔尺寸大约Φ480×600mm；

2）双层水冷不锈钢真空腔，内表面电抛光，外表面喷丸；

3）升降机构为涡轮蜗杆升降；

4）钟罩冷却方式为水冷；

2.2.3真空度（常温空载）

1）钟罩极限真空度 ≤5×10-5Pa；

4）系统极限真空度（含充气部分）≤2×10-7Pa；

2.2.4漏率

漏率≤ 5×10-9Pa.m3/s

2.2.5烘烤

1）钟罩烘烤温度20-600℃，温度均匀性±10%，连续加热时间大于48小时；

2）设备管路烘烤温度200℃；

2.2.6材料

1）钟罩采用不锈钢制造；

2）主管路部分应采用316L不锈钢；

2.2.7真空测量

1）薄膜压力计规管1套；

2）管路真空计为高真空程控真空计；

3）钟罩及工件真空计为复合真空计，测量前级真空与钟罩真空和工件真空；

2.2.8真空泵

1）设备抽气泵组为无油泵；

2）前级泵为干式机械泵；

3）主抽泵为脂润滑分子泵；

4）超高真空维持泵离子泵。

2.2.9阀门

 1）设备管路工件抽气阀门为寿命>10000次的VAT全金属手动角阀；

 2）设备配制1路微量调节进气阀门，给设备管路进给工艺气体；微量进气阀为国产产品。

2.2.10控制

1）设备配备IPC610H工控机，配套显示屏为17寸；

2）控制真空泵、烘烤，远程监测真空测量、RGA数据显示和采集；

3）工控机与PLC通讯模块通讯，控制温度，工控机可将温度参数记录和存储下来；

4）工控机与真空计通讯，将真空度记录和存储下来，真空度超标时报警并记录；

5）工控机与四极质谱仪通讯，将四极质谱仪参数记录和存储下来；

6）工控机与薄膜规通讯，将压强参数读取，记录和存储下来；

7）工控机具有设备循环水欠压、过压以及无水报警功能

11

微束精密等离子焊机

1

0.54*0.32*0.87

微束等离子焊接技术是一种在精密氩弧焊基础上诞生的一种压缩电弧焊接工艺，电弧经过焊枪的机械压缩、电磁收缩、热压缩效应，使其成为高能量密度（穿透力强）、高离子射流速度（焊接速度快）、高弧温（焊接速度快）、扩散角小（热影响区小）的电弧，并以此作为热源进行金属焊接的一种方法。

输入电压：AV220V,50/60HZ

最大输出功率：4A

额定输出功率：600W

焊接模式：连续焊、定时焊、连续脉冲焊、定时连续脉冲焊

电流范围：2A-50A

上升时间：0-5s

下降时间：0-5S

工作时间：1-5000ms

前送气：0-5S

后送气：1-20S

焊接模式：4组

智能存储：10组

显示器：7.5寸触屏

冷却方式：强制空冷

设备尺寸：不大于520*320*750

设备重量：不大于40KG